Une fine gravure de la couche peut être obtenue même lors de l'utilisation d'un masque inorganique. Fine working of the layer can be attained without side etching even when an inorganic mask is used.
métallurgie et sidérurgie - wipo.int
Une fine gravure de la couche peut être obtenue sans gravure latérale même lors de l'utilisation d'un masque inorganique.
Fine working of the layer can be attained without side etching even when an inorganic mask is used.
métallurgie et sidérurgie - wipo.int
La partie restante est ensuite éliminée par gravure isotropique, supprimant ainsi la gravure latérale.
Thereafter, the remaining portion is removed by isotropic etching, thereby suppressing side etching.
électronique et électrotechnique - wipo.int
L'extension latérale peut recourir à une technique de silylation de la couche de masque de gravure après la gravure.
The lateral extension can include a silylation technique of the etching mask layer following etching.
électronique et électrotechnique - wipo.int
Le réglage des taux de gravure relatifs de cette couche et de la structure, permet une réduction de largeur latérale uniforme et un lissage de surface de paroi latérale de la structure, en raison de la gravure latérale.
By adjustment of the relative etch rates of this layer and the structure, a uniform lateral width reduction and sidewall surface smoothing of the structure is achieved due to lateral etching.
sciences naturelles et appliquées - wipo.int
Ledit procédé de gravure de substrat permet de former un profil de paroi latérale présentant un angle incurvé régulier sur le côté supérieur de la paroi latérale tout en assurant l'augmentation du degré de gravure et du facteur de gravure.
The substrate etching method not only forms a sidewall profile having a smooth round angle on the top of the sidewall, but also increases the etching degree and the etching ratio.
électronique et électrotechnique - wipo.int
Ladite technique consiste notamment en une gravure ionique réactive anisotrope en étapes alternées répétitives de gravure et de protection de paroi latérale.
The deep etch procedure includes metal anisotropic reactive ion etching (156) utilizing repetitive alternating steps of etching and side wall protection.
électronique et électrotechnique - wipo.int
La section à ressort a une surface latérale formée par gravure par le bord.
The spring section has a side surface formed by side etching.
industrie mécanique - wipo.int
Le laminé de l'invention présente une gravure latérale réduite et est apte à être utilisé dans la formation de fins motifs par gravure humide.
The laminate is reduced in side etching and can be suitably used for forming a fine pattern when subjected to wet etching.
électronique et électrotechnique - wipo.int
L'invention concerne un procédé de mise en oeuvre de gravure métallique, de décapage de masque de gravure et d'élimination de passivation résiduelle de paroi latérale dans une chambre de gravure unique.
A method for performing a metallic etch, etch mask stripping, and removal of residual sidewall passivation in a single etch chamber.
électronique et électrotechnique - wipo.int
Le procédé de gravure de substrat peut éviter le problème de détérioration de la paroi latérale, et ainsi rendre la paroi latérale plus lisse.
The substrate etching method can avoid the problem of damaging the side wall, thereby making the side wall smooth.
technologie et réglementation technique - wipo.int
Dans le traitement d'extension (gravure profonde), le trou dont la paroi latérale comporte les dépôts déposés durant le traitement de dépôt est étendu (gravure profonde) en réalisant en outre le procédé de gravure.
In the extension (deep etching) process, the hole having the side wall deposited with the deposits during the deposition process is extended (deep etching) by further performing the etching process.
électronique et électrotechnique - wipo.int
La présente invention concerne des procédés de gravure de silicium pour le polissage de paroi latérale de tranchée.
Methods of silicon etch for trench sidewall smoothing are described.
électronique et électrotechnique - wipo.int
Lors d'une gravure, une électrode sans contact mobile est utilisée afin de procéder à une gravure ionique.
For etching a movable non-contact electrode is utilized to perform sputter etch.
informatique et traitement des données - wipo.int
conteneur sans toit et à paroi latérale ouverte
open top - open wall container
technologie et réglementation technique - iate.europa.eu
