Procédé et appareil d'inspection de plaquettes.
L'invention concerne un procédé d'inspection de tranche et un appareil d'inspection de tranche.
Le procédé consiste aussi à réaliser une inspection d'une plaquette en fonction d'une formule d'inspection de plaquette actualisée.
L'invention concerne un dispositif d'inspection de plaquettes exécutant une macro-inspection de la totalité de la surface d'une plaquette.
L'invention porte sur un système de contrôle de tranches et sur un procédé de contrôle d'une tranche.
Le procédé comprend également le balayage de la galette avec un système d'inspection de galette afin de générer ainsi une sortie pour la galette avec un ou plusieurs détecteurs du système d'inspection de galette.
L'invention se rapporte à un système de contrôle de plaquettes.
L'invention concerne un procédé et un appareil d'inspection de plaquettes.
La réalisation de l'inspection consiste à compartimenter les défauts détectés sur la plaquette en fonction du processus de DBB dans la formule d'inspection de plaquette actualisée.
Une structure comprend un élément formé dans un mandrin configuré pour supporter une plaquette pendant l'inspection par le système d'inspection de plaquette.
La présente invention concerne un appareil d'inspection de tranches, et plus particulièrement, un appareil d'inspection de tranches capable d'inspecter précisément une marque de sciage formée sur la surface d'une tranche.
La présente invention concerne un appareil d'inspection de tranches capable de réduire le temps nécessaire à l'inspection d'une tranche.
L'invention porte sur un procédé et un appareil d'inspection de tranche.
L'invention concerne un dispositif (1) utilisé pour contrôler des tranches de semi-conducteur.
La présente invention a trait à des systèmes et des procédés de conversion des coordonnées de défauts de plaquette détectées en coordonnées de réticule au moyen de données de conception assistée par ordinateur.
Requêtes fréquentes anglais :1-200, -1k, -2k, -3k, -4k, -5k, -7k, -10k, -20k, -40k, -100k, -200k, -500k, -1000k,
Requêtes fréquentes français :1-200, -1k, -2k, -3k, -4k, -5k, -7k, -10k, -20k, -40k, -100k, -200k, -500k, -1000k,
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