L'invention concerne un procédé de nettoyage de chambre source d'ions dans lequel une électrode positionnée à l'extérieur de la chambre source d'ions comprend un bouchon de suppression.
La conductance gazeuse entre l'ouverture de la chambre source et le bouchon de suppression peut être réglée pendant le processus de nettoyage afin d'obtenir des conditions de nettoyage optimales et d'évacuer les dépôts indésirables.
Requêtes fréquentes anglais :1-200, -1k, -2k, -3k, -4k, -5k, -7k, -10k, -20k, -40k, -100k, -200k, -500k, -1000k,
Requêtes fréquentes français :1-200, -1k, -2k, -3k, -4k, -5k, -7k, -10k, -20k, -40k, -100k, -200k, -500k, -1000k,
Traduction Translation Traducción Übersetzung Tradução Traduzione Traducere Vertaling Tłumaczenie Mετάφραση Oversættelse Översättning Käännös Aistriúchán Traduzzjoni Prevajanje Vertimas Tõlge Preklad Fordítás Tulkojumi Превод Překlad Prijevod 翻訳 번역 翻译 Перевод