Une seconde caractéristique consiste en une plaque de protection de la sonde possédant une capacitance réduite vis-à-vis la plaque de détection de la sonde.
Dans un mode de réalisatio, on forme les plaques capacitives, par exemple, une masse d'épreuve et une plaque de capteur à partir de semi-conducteurs dopés de manière sensiblement identique.
Méthode de fabrication d'un dispositif à structure micro-électromécanique (MEMS) (300) avec un couvercle supérieur (250) et une plaque supérieure de détection.
Une plaque de détection ou électrode de blindage montée sur le substrat disposé sous la masse d'épreuve s'étend entièrement sous l'étendue des doigts d'électrode de la masse d'épreuve.
Ces dispositifs (MEMS) comprennent également des peignes de détection de moteur (20, 21), une plaque de détection (22, 23), et un peigne d'entraînement de moteur (18, 19) pour chaque masse de preuve.
Requêtes fréquentes anglais :1-200, -1k, -2k, -3k, -4k, -5k, -7k, -10k, -20k, -40k, -100k, -200k, -500k, -1000k,
Requêtes fréquentes français :1-200, -1k, -2k, -3k, -4k, -5k, -7k, -10k, -20k, -40k, -100k, -200k, -500k, -1000k,
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