Les deux circuits de masse sont électriquement isolés aux RF par une bobine d'arrêt RF, mais ils sont reliés aux fréquences audio par la faible impédance de la bobine d'arrêt en fréquence audio.
L'invention concerne une bobine d'arrêt HF (30) présentant une inductance et une capacité conductrice supérieures à celles des bobines d'arrêt traditionnelles.
En introduisant le gaz par un ensemble bobine d'arrêt RF, le champ RF et le gaz de traitement peuvent être introduits dans la chambre de traitement par un site commun, ce qui simplifie donc la conception de la chambre.
Qu'est-ce qui permet à une bobine d'arrêt RF d'avoir un effet négligeable sur les signaux qui doivent la traverser?
Par ailleurs, le piège HF (300) présente d'excellentes performances telles qu'on peut le déduire de la réponse en fréquence HF et de la modulation par ronflement.
Pour pouvoir faire passer les courants pouvant atteindre les 15 A, ce piège HF (300) utilise du fil magnétique (310) de calibre 14 à 16.
Une polarisation CC est envoyée par le biais d’un circuit d’étranglement RF (5a) vers l’électrode de grille (2).
Une mono-impulsion est envoyée par un circuit générateur de mono-impulsion (7) vers l’électrode de gain (3) par le biais d’un circuit d’étranglement RF (5b).
La présente invention concerne généralement un dispositif comportant un piège RF et une source de plasma à distance combinés en une unité unique.
À chaque emplacement, le gaz peut être alimenté vers la chambre de traitement depuis la source de gaz en passant à travers une source de plasma distante de même qu'une bobine d’arrêt ou résistance RF.
La self devra avoir une réactance égale à au moins 10 fois la valeur de l'impédance de sortie (500 Ohms) à la fréquence d'utilisation la plus basse.
Requêtes fréquentes anglais :1-200, -1k, -2k, -3k, -4k, -5k, -7k, -10k, -20k, -40k, -100k, -200k, -500k, -1000k,
Requêtes fréquentes français :1-200, -1k, -2k, -3k, -4k, -5k, -7k, -10k, -20k, -40k, -100k, -200k, -500k, -1000k,
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