L'appareil contient un ensemble socle, un ensemble anneau entourant le socle et un isolant entre l'ensemble socle et l'ensemble anneau.

L'appareil contient un ensemble socle et un couvercle de socle placé sur la surface supérieure de l'ensemble socle et entourant ce dernier de façon à l'isoler électriquement.

L'isolant isole électriquement l'ensemble socle de l'ensemble anneau et empêche de la sorte tout couplage de puissance non désiré à travers l'ensemble anneau.

La fiche sur le boîtier de socle est alors disposée dans l'orifice d'accès pour maintenir l'ensemble socle en position au-dessus du sol.

L'ensemble piédestal (14) soutient au moins une partie de l'appareil de fabrication (12).

L'invention concerne un ensemble de support destiné à supporter un substrat dans une chambre de traitement de semi-conducteurs.

L'invention concerne un ensemble socle et un procédé de régulation de la température d'un substrat pendant son traitement.

De plus, une affiche de cette série est dans la maison des Byers.

Néanmoins, le piédestal peut pivoter, mais une contrainte verticale de niveau prédéterminé est nécessaire afin d'assembler ou de démonter l'ensemble piédestal pour siège.

Dans un autre mode de réalisation, un ensemble de support comprend globalement un corps en céramique amovible disposé sur un couvercle.

L'invention concerne un ensemble de précision (10) pour la fabrication d'un substrat (42) qui comprend un appareil de fabrication de précision (12), un ensemble piédestal (14) et un système de suspension (16).

L'actionneur est conçu pour déplacer l'ensemble socle vers une position de chargement en contact avec une bague de retenue d'une tête porteuse et pour émettre un signal d'épaisseur de bague de retenue basé sur une distance parcourue par l'ensemble socle.

Ainsi, le courant radioélectrique de polarisation de la tranche provenant de l'ensemble socle reste couplé par l'intermédiaire du substrat au cours du traitement.

Dans un mode de réalisation, l'ensemble de support se compose globalement d'un corps en céramique, d'un logement métallique et d'une plaque de refroidissement.

De façon plus spécifique, des modes de réalisation décrits ici concernent un ensemble de traitement, comprenant un anneau de dépôt et un ensemble socle.