Dictionnaire français - anglais

sciences naturelles et appliquées - iate.europa.eu
L'invention porte sur un implanteur d'ions.

An ion implanter is disclosed.

électronique et électrotechnique - wipo.int
Cette capacité permet à l'implanteur d'ions de fonctionner soit comme implanteur d'ions en courant moyen à haute précision, soit comme implanteur d'ions à fort courant.

This capability enables the ion implanter to function as either a high precision medium-current ion implanter or as a high-current ion implanter.

électronique et électrotechnique - wipo.int
L'invention concerne un implanteur d'ions doté d'un aimant collimateur conçu pour former un faisceau d'ions.

This disclosure describes an ion implanter having a collimator magnet that is configured to shape an ion beam.

électronique et électrotechnique - wipo.int
L'invention concerne une plaque frontale (27) pour une source d'ions susceptible d'être utilisée dans un implanteur d'ions.

The present invention relates to a front plate (27) for an ion source that is suitable for an ion implanter.

électronique et électrotechnique - wipo.int
L'invention concerne également un aimant analyseur et un implanteur d'ions comprenant le pôle magnétique, ainsi qu'un procédé permettant d'améliorer la neutralisation d'une charge spatiale d'un faisceau ionique faible énergie dans un implanteur d'ions.

An analyzer magnet and ion implanter including the magnet pole are also provided so that a method of improving low energy ion beam space charge neutralization in an ion implanter is realized.

électronique et électrotechnique - wipo.int
Development and fabrication of a solar cell junction processing systemDevelopment of a pulsed electron beam subsystem, wafer transport system, and ion implanter are discussed....
général - core.ac.uk - PDF: hdl.handle.net
The design and manufacture of a 300 kv heavy ion implanter for surface modification of materials300keV ion implanter has been designed for studies of surface modification of several materials by ion beam....
Molecular ion implanter equipped with liquid-metal alloy ion sourceMolecular ion implanter was developed with a liquid-metal alloy ion source....
A classification-based fault detection and isolation scheme for the ion implanterAbstract—We propose a classification-based fault detection and isolation scheme for the ion implanter....
Fabrication of compact ion implanter for silicon carbide devicesAbstract: Most of the ion implanter is large scale, high acceleration voltage and expensive....

Publications scientifiques

Limitations on n+/p+ spacing due to shadowing effects in a 0.7µm retrograde well cmos process
L'utilisation d'un implanteur d'ions à haute énergie afin de former des puits rétrogrades requiert une couche de résine photo-sensible très épaisse afin de prévenir la pénetration de l'implantation....
...Use of high energy ion implantation for retrograde wells requires thick resist layers to prevent implant penetration....
Europe / recherche et propriété intellectuelle / activité agricole - core.ac.uk -

Exemples français - anglais

Traductions en contexte français - anglais

L'invention concerne également un implanteur d'ions.

An ion impianter is also provided.

électronique et électrotechnique - wipo.int
Cette invention concerne un procédé permettant de déterminer l'homogénéité de dose d'un implanteur d'ions à balayage.

Dose uniformity of a scanning ion implanter is determined.

électronique et électrotechnique - wipo.int
Roue de balayage conçue pour un implanteur d'ions, afin de porter une pluralité de tranches de semi-conducteur.

A scan wheel for an ion implanter adapted for carrying a plurality of semiconductor wafers.

électronique et électrotechnique - wipo.int
La présente invention concerne en particulier une lentille de décélération (7000) qui est employée dans un implanteur d'ions.

A deceleration lens (7000) is disclosed for use in an ion implanter.

électronique et électrotechnique - wipo.int
L'invention porte également sur un implanteur d'ions conçu de sorte qu'un élément placé derrière, par rapport au sens d'avance d'un faisceau d'ions, un substrat à semi-conducteur ne soit pas exposé au faisceau d'ions.

An ion implanter characterized in that it is formed so that a member positioned behind, with respect to a direction of advance of an ion beam, a semiconductor substrate is not irradiated with the ion beam.

électronique et électrotechnique - wipo.int
Cette invention concerne un procédé permettant de nettoyer soigneusement l'intérieur de la chambre à vide d'un implanteur d'ions qui a été contaminée lors d'un opération d'implantation d'ions de phosphore.

The present invention is directed to a method of efficiently cleaning the inside of a target chamber of an ion implanter contamined by a phosphorus implantation process.

métallurgie et sidérurgie - wipo.int
L'invention concerne un système d'implantation ionique comprenant un appareil implanteur d'ions (110), destiné à mettre en oeuvre un processus d'implantation ionique.

An ion implantation process system, including an ion implanter apparatus (110) for carrying out an ion implantation process.

technologie et réglementation technique - wipo.int
Dans un mode de réalisation particulier décrit à titre d'exemple, la technique peut être réalisée sous la forme d'un procédé de traitement d'un substrat à l'aide d'un implanteur d'ions comportant une source d'ions.

In one particular exemplary embodiment, the technique may be realized as a method for processing a substrate with an ion implanter comprising an ion source.

électronique et électrotechnique - wipo.int
Cette invention concerne des procédés et un dispositif permettant d'accorder automatiquement un système à faisceau de particules chargées tel qu'un implanteur d'ions.

Methods and apparatus are provided for automatically tuning a charged particle beam system, such as an ion implanter.

électronique et électrotechnique - wipo.int
Cathode à réchauffement indirect conçue pour être utilisée dans la source d'ions d'un implanteur d'ions et possédant un bouton constitué par une pièce massive montée dans une pièce creuse présentant une forme de collier.

An indirectly heated button cathode for use in the ion source of an ion implanter has a button member (21) formed of a slug piece (40) mounted in a collar piece (41).

électronique et électrotechnique - wipo.int
Dispositif combiné à une enceinte contenant une charge associée à un implanteur d'ions, et comprenant un couvercle contigu à la fente d'une vanne d'isolation de cette enceinte.

An apparatus in combination with a load lock of an ion implanter comprises a cover adjacent an isolation valve slot of the load lock.

production - wipo.int
Selon un mode particulier de réalisation donné à titre d'exemple, la technique peut être réalisée en tant que procédé pour améliorer la performance et prolonger la durée de vie d'une source d'ions dans un implanteur d'ions au moyen d'une dilution de gaz.

In one particular exemplary- embodiment, the technique may be realized as a method for improving performance and extending lifetime of an ion source in an ion implanter with gas dilution.

électronique et électrotechnique - wipo.int
Implanteur d'ions comprenant un mandrin électrostatique conçu pou repousser des particules chargées de sa surface et donc limiter les dépôts de telles particules lorsque ledit mandrin ne supporte pas une pièce.

The electrostatic chuck is configured to repel charged particles (146) from a surface (108) of the electrostatic chuck to limit deposits of the charged particles on the surface when the electrostatic chuck is not supporting any workpiece.

électronique et électrotechnique - wipo.int
L'invention concerne un appareil d'alimentation en gaz dopant destiné à fournir ces compositions de dopant de silicium à un implanteur d'ions, ainsi que des systèmes d'implantation ionique comprenant cet appareil d'alimentation en gaz dopant.

Dopant gas supply apparatus for providing such silicon dopant compositions to an ion implanter are described, as well as ion implantation systems including such dopant gas supply apparatus.

électronique et électrotechnique - wipo.int
L'invention porte sur un procédé et un système de détermination d'un facteur de compensation de pression destiné à être utilisé dans un implanteur d'ions qui met en oeuvre une pièce ou un petit nombre de pièces de test (21).

The invention provides a method and system for determining a pressure compensation factor for use in an ion implanter, which uses one or a small number of test workpieces (21).

électronique et électrotechnique - wipo.int


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