L'invention concerne ainsi une tranche de silicium hybride présentant à la fois les fonctions d'une tranche de silicium polycristallin et d'une tranche de silicium monocristallin.
L'invention concerne également un procédé de fabrication de tranche de silicium et une tranche de silicium gravée.
L’invention décrit également un procédé permettant de produire une telle plaquette de silicium et une plaquette de silicium.
Par conséquent, il est possible d'obtenir la tranche de silicium hybride dotée des fonctions de la tranche de silicium polycristalline et de celles de la tranche monocristalline, ainsi que le procédé de fabrication de ladite tranche de silicium hybride.
La plaquette de silicium ou la au moins une couche de silicium de la plaquette est totalement fondue.
La plaquette de silicium (20) est ensuite gravée de manière à conférer la structure de plaquette suspendue ou de silicium souhaitée.
La tranche de dispositif peut être fabriquée à partir d'un matériau de tranche de silicium.
Il est prévu un procédé de fabrication de plaquettes de silicium pour réduire davantage la progression de fissures dans une plaquette de silicium.
Même si l'épaisseur de la tranche de silicium est réduite, la tranche de silicium a une capacité d'absorption par effet getter.
La présente invention a trait à une tranche de silicium hybride caractérisée en ce qu'elle est dotée d'une structure dans laquelle une tranche monocristalline est incluse dans une tranche de silicium frittée polycristalline.
Une plateforme empilée en plaquettes de verre- silicium.
L'invention porte sur une tranche de silicium épitaxiale.
Par conséquent, on met en oeuvre un procédé de récupération d'une tranche de silicium afin d'obtenir de manière stable une tranche de silicium exempte de contamination métallique.
Finalement, la tranche de silicium est séchée.
Puis, le substrat est lié soit à une tranche de silicium non épitaxié soit à une tranche de silicium sur isolant (SOI).
Requêtes fréquentes anglais :1-200, -1k, -2k, -3k, -4k, -5k, -7k, -10k, -20k, -40k, -100k, -200k, -500k, -1000k,
Requêtes fréquentes français :1-200, -1k, -2k, -3k, -4k, -5k, -7k, -10k, -20k, -40k, -100k, -200k, -500k, -1000k,
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