L'invention concerne un système de surveillance de procédé (100) permettant de surveiller un système de traitement au plasma.

Le dispositif récepteur est couplé à une unité d'évaluation (30) et / ou à un système de surveillance ou à un système de commande du processus.

Un système (35) de surveillance de traitement peut être utilisé pour surveiller un traitement mis en oeuvre sur le substrat (30) dans la chambre (25) de traitement à travers la cavité (145) située dans la paroi (38).

Lors de la fabrication de puces (fabrication initiale), les installations de production sont contrôlées par un système de surveillance de processus.

Notre système de surveillance des processus permet de visualiser et d'évaluer ce paramètre.

Ce système de surveillance de procédé (100) comprend une pluralité de sous-systèmes de traitement (120) et un système de commande (110) couplé aux sous-systèmes de traitement (120).

ComoNeo: Système et moniteur de surveillance d’injection pour une efficience maximale.

Notre système de surveillance de procédés à distance, Buckman OnSite, est une autre technologie intelligente qui peut améliorer de nombreux aspects du processus d'un client.

L'objet de l'invention consiste à réaliser un système de contrôle de processus dont la conception permet une configuration spécifique aisée en fonction de l'application.

L'invention concerne un système de surveillance de procédé (100) permettant de surveiller un système de traitement au plasma.

La présente invention concerne un système qui permet de surveiller un processus industriel et de prendre des mesures fondées sur les résultats de la surveillance du processus.

Procédé de modélisation d'une phase de processus pouvant être surveillée.

Système de surveillance et de contrôle d'un processus discontinu.

L'invention concerne un système de surveillance d'un processus commandé par un utilisateur.

L'invention porte sur un procédé de surveillance de l'état d'un élément de traitement, sur un système de surveillance et sur un élément de traitement.