L’appareil destiné au traitement de substrat est équipé d’un mécanisme d’inclinaison de substrat permettant d’incliner le substrat sur un mécanisme de porte-substrat qui maintient le substrat.
En conséquence, il est possible de rendre plus compact le mécanisme de coulissement d'un appareil portable pourvu d'un mécanisme d'inclinaison.
Après avoir formé une masse liquide sur le substrat à l’aide de la solution de rinçage, celui-ci est incliné selon un angle étroit à l’aide du mécanisme d’inclinaison de substrat.
Requêtes fréquentes anglais :1-200, -1k, -2k, -3k, -4k, -5k, -7k, -10k, -20k, -40k, -100k, -200k, -500k, -1000k,
Requêtes fréquentes français :1-200, -1k, -2k, -3k, -4k, -5k, -7k, -10k, -20k, -40k, -100k, -200k, -500k, -1000k,
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