La présente invention a trait à un moniteur de dosage de chambre d'ionisation de Faraday et d'uniformité comportant une chambre d'ionisation de Faraday (80) renfermant une tranche cible (20).
Le contrôle est effectué par une chambre d'ionisation de Faraday (342), un moniteur (340) de courant, et des capteurs (360, 362, 364) de taux de dépôt.
Dans un implanteur ionique, une chambre d'ionisation de Faraday est utilisée pour recevoir un faisceau d'ions généré au cours du nettoyage d'une source d'ions.
Une chambre d'ionisation de Faraday balaie le faisceau ionique le long de l'emplacement prévu de la surface d'implantation de façon à former un plan de mesure de base.
A l'amorçage, le courant de faisceau est maintenu constant et une chambre d'ionisation de Faraday est balayée au travers du faisceau, afin de mesurer la variation de la dose avec la position de balayage.
L'invention concerne une structure de collecteur de Faraday destinée à être utilisée avec un outil de traitement.
La présente invention fournit une approche de surveillance magnétique d'un collecteur de Faraday pour un implanteur ionique.
Dans la présente invention, une chambre à vide et un collecteur de Faraday sont situés au sein de la chambre à vide.
Le collecteur de Faraday est configuré pour se déplacer dans la trajectoire d'un faisceau ionique entrant dans la chambre à vide.
Un moniteur de surveillance magnétique situé près de la chambre à vide est configuré pour distinguer un champ magnétique associé à un collecteur de Faraday des champs magnétiques parasites.
La chambre de Faraday peut comporter un couvercle à ouvertures multiples destiné à réduire les risques de décharge à l'intérieur de ladite chambre.
Le micro-ensemble de chambre d'ionisation Faraday modifié est placé de manière à être balayé par le micro-faisceau.
Entre autres, l'unité SI de la capacitance, la cage de Faraday et la cavité de Faraday, un bol de métal capable d'attraper des particules chargées dans le vide, furent nommées d'après Michael Faraday.
Un système (302) de mesure de faisceau de chambre de ionisation de Faraday ventilée maintient la précision de dosimétrie du faisceau en dépit de la charge de transport de gaz élevée.
Etant donné que les collecteurs de Faraday collectent la charge indépendamment de leur état de charge, chaque collecteur est à la fois un collecteur et un intégrateur.
Un réseau de capteurs de courant à cuve de Faraday (301-30n) sont positionnés dans la trajectoire du faisceau à des distances prédéterminées d'un point de référence.
L'invention concerne un système (10) de détection à faisceau de particules chargées comprenant un réseau de détecteurs à collecteurs de Faraday servant à une détection par faisceau de particules chargées sensible à la position.
Le réseau détecteur peut comprendre n'importe quel dispositif approprié, notamment un réseau détecteur à chambre de ionisation faraday, un réseau détecteur de charge de barrettes ou un réseau détecteur CCD.
L'ensemble de masquage comprend une plaque de masquage (36) pourvue d'ouvertures de détection et d'une cage de Faraday annulaire (54) alignée avec les ouvertures pour détecter le courant du faisceau.
Cette chambre de ionisation de Faraday peut être conçue de manière à produire un champ électrique interne latéral qui empêche les électrons de s'échapper et, par là même, améliore la précision des mesures.
De plus, la présente invention concerne un ensemble de cuve de Faraday pour mesure de courant de faisceau d’ions et d’électrons qui peut être utilisé pour l’appareil ci-dessus.
Le système de commande détecte le courant du faisceau qui passe au travers d'une ou plusieurs ouvertures ou fentes (22) aménagées dans le disque (10) et est collecté par une cage de Faraday (27).
Ce dispositif de dopage au plasma comporte au moins une chambre de ionisation de Faraday placée contre la platine, qui permet de recueillir un échantillon des ions positifs soumis à une accélération dans la gaine de plasma.
Ainsi, une intensité de 1 nA (=10−9 A) correspond à près de 6 milliards d’impacts d’ions par seconde sur l’anode.
Ainsi, une intensité de 1 nA (=10−9 A) correspond à près de 6 milliards d’impacts d’ions par seconde sur l’anode.
Requêtes fréquentes anglais :1-200, -1k, -2k, -3k, -4k, -5k, -7k, -10k, -20k, -40k, -100k, -200k, -500k, -1000k,
Requêtes fréquentes français :1-200, -1k, -2k, -3k, -4k, -5k, -7k, -10k, -20k, -40k, -100k, -200k, -500k, -1000k,
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