Le procédé de dopage fait passer un film de graphène à travers une solution de dopage contenant un dopant ou une vapeur de dopant, dopant ainsi le film de graphène.
Le procédé de dopage fait passer un film de graphène à travers une solution de dopage contenant un dopant ou une vapeur de dopant, dopant ainsi le film de graphène.
La couche conductrice est, de préférence, formée par la diffusion d'un dopant à partir d'une phase vapeur.
Pendant que le substrat est exposé à la vapeur contenant des dopants, une partie de la pâte de dopants contribue également au dépôt de la couche dopante via un transport sous phase gazeuse d'atomes dopants provenant de la pâte de dopants.
Autre variante, la couche contenant du silicium (30) peut renfermer le dopant avant formation de la couche d'aluminiure (14), aucun réactif en phase vapeur contenant le dopant n'étant alors nécessaire.
Le dopant soufré consiste en un dopant cationique, le dopant carboné consiste en un dopant cationique et le dopant fluoré consiste en un dopant anionique.
Les atomes de dopant sont déposés par dépôt chimique en phase vapeur activé par plasma (PCVD) ou par toute autre technique de dépôt connue.
Le dopant peut être un dopant solide ou un dopant liquide.
Le système dopant comprend un support de dopant (104) et une source de dopant (106).
De préférence, ce dopant est un dopant au titane.
Autre variante, le dopant peut être inclus dans la couche contenant du silicium (30) avant la formation du revêtement d'aluminiure (14), et aucun réactif en phase vapeur contenant le dopant n'est alors nécessaire.
Dans un mode de réalisation, le premier type de dopant comprend un dopant du type p et le second type de dopant comprend un dopant du type n.
Au moins un profil de dopant est différent d'un autre profil de dopant dans les profils de dopant.
Le gaz dopant peut comprendre une espèce dopante.
De telles informations comprennent la concentration du dopant et la localisation du dopant.
Requêtes fréquentes anglais :1-200, -1k, -2k, -3k, -4k, -5k, -7k, -10k, -20k, -40k, -100k, -200k, -500k, -1000k,
Requêtes fréquentes français :1-200, -1k, -2k, -3k, -4k, -5k, -7k, -10k, -20k, -40k, -100k, -200k, -500k, -1000k,
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