On place ensuite le dispositif chargé dans une enceinte à vide pour dépôt de plasma (10) et on évacue l'air de ladite enceinte.
Application aux techniques de dépôt sous vide.
dépôt sous vide par pulvérisation à haute intensité
Il n'est pas nécessaire de recourir à un procédé de métallisation sous vide.
L'invention concerne un système de chauffage de source de dépôt sous vide et un système de dépôt sous vide ayant un tel système de chauffage.
L'appareil de dépôt sous vide comprend une chambre de dépôt (13) qui est soumise au vide, ainsi qu'une unité de source d'évaporation (50).
Appareils et dispositifs de métallisation sous vide
La présente invention concerne un système de dépôt sous vide en ligne comprenant des paires de sources thermiques placées dans des zones de dépôt adjacentes.
Appareils et dispositifs pour métallisation sous vide
Appareils et dispositifs de métallisation sous vide
Appareils et dispositifs de métallisation sous vide
Appareils et dispositifs de métallisation sous vide
Appareils et dispositifs pour métallisation sous vide
Appareils et dispositifs de métallisation sous vide
Appareils et dispositifs de métallisation sous vide
Requêtes fréquentes anglais :1-200, -1k, -2k, -3k, -4k, -5k, -7k, -10k, -20k, -40k, -100k, -200k, -500k, -1000k,
Requêtes fréquentes français :1-200, -1k, -2k, -3k, -4k, -5k, -7k, -10k, -20k, -40k, -100k, -200k, -500k, -1000k,
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