On grave un motif de contrôle de l'arrondissement des angles dans la photorésine.
On mesure ce défaut afin d'obtenir une indication du degré d'arrondissement des angles.
L'invention concerne un procédé permettant de mesurer le degré d'arrondissement des angles dans un masque.
L'invention concerne un procédé permettant de réaliser une isolation par tranchée peu profonde pendant la fabrication de semi-conducteurs, qui améliore l'arrondi d'angle de tranchée.
Un mode de réalisation de l'invention concerne des systèmes et des techniques pour déterminer un modèle de traitement amélioré qui modélise des effets d'arrondissement d'angle de masque (MCR).
Le motif test (120) contient au moins un coin test (110) destiné à évaluer le degré d'arrondissement d'angle lorsque le motif test est défini dans le masque photographique (106).
De nombreuses commandes fournissent une fonctionnalité pour ce but, appelée chanfrein automatique et arrondi automatique des coins.
L’outil d’arrondiage de coin polyvalent avec un moteur permet d’appliquer des rayons sur les parties supérieure et inférieure du panneau.
L'invention concerne un procédé d'inspection d'un réticule, destiné à évaluer le degré d'arrondissement d'angle d'une caractéristique d'un motif test, consistant à placer sous un microscope un réticule comportant un masque photographique.
L'emploi de l'image de plaquette simulée du masque physique permet également de quantifier d'autres aspects relatifs à la qualité du masque tels que la grossièreté des bordures ou l'arrondi des coins de contact.
Outre la vente de ces produits, Enerspin participe au service d’élaboration du rayon des balais pour améliorer l’adhérence de ces derniers aux anneaux et en augmenter les performances.
Requêtes fréquentes anglais :1-200, -1k, -2k, -3k, -4k, -5k, -7k, -10k, -20k, -40k, -100k, -200k, -500k, -1000k,
Requêtes fréquentes français :1-200, -1k, -2k, -3k, -4k, -5k, -7k, -10k, -20k, -40k, -100k, -200k, -500k, -1000k,
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