L'invention porte sur une structure de confinement de plasma mobile configurée pour confiner un plasma dans une chambre de traitement par plasma durant un traitement par plasma d'un substrat.
La présente invention a trait à un système et un procédé permettant le confinement de plasma au sein d'une enceinte de traitement au plasma.
Les bobines magnétiques servent, lorsqu'elles sont alimentées en courants électriques, à former des champs magnétiques permettant le confinement de plasma à l'intérieur de l'enceinte.
Les bobines magnétiques sont actionnables, une fois alimentées en courants électriques, pour former des champs magnétiques pour confiner un plasma dans l'enveloppe.
Ce courant de réactif est confiné par les jets de plasma convergents et de confinement, dont la configuration et la direction de l'écoulement sont prédéterminés par des passages de gaz plasma convergents, concentriques par rapport à l'axe longitudinal.
Le système magnétique à champ ouvert et la ou les bobines magnétiques d'encapsulation, lorsqu'ils sont alimentés avec des courants électriques, forment des champs magnétiques destinés à confiner un plasma dans l'enceinte.
Confinant du plasma à l’intérieur de leur vortex, ils se comportent comme des lignes de transmission cosmique, et permettent la circulation des courants électriques sur de grandes distances.
technologie de la première paroi faisant face au plasma
L'ensemble de confinement de plasma comprend un premier élément de confinement et un deuxième élément de confinement, disposés à proximité de la périphérie de la zone de traitement, le deuxième élément de confinement étant séparé du premier.
Ce troisième élément de confinement diminue davantage les effets des composants constituant le plasma, passant entre le premier et le deuxième élément de confinement.
La présente invention concerne un dispositif permettant un confinement inductif d'un plasma RF à couplage capacitif réalisé dans un appareil de traitement plasma.
L'invention porte sur une structure de confinement de plasma mobile configurée pour confiner un plasma dans une chambre de traitement par plasma durant un traitement par plasma d'un substrat.
La présente invention a trait à un système et un procédé permettant le confinement de plasma au sein d'une enceinte de traitement au plasma.
Ces premier et deuxième éléments de confinement réduisent sensiblement les effets des composants constituant le plasma et passant entre eux.
L'invention concerne également un procédé de production et de confinement d'un plasma.
Requêtes fréquentes anglais :1-200, -1k, -2k, -3k, -4k, -5k, -7k, -10k, -20k, -40k, -100k, -200k, -500k, -1000k,
Requêtes fréquentes français :1-200, -1k, -2k, -3k, -4k, -5k, -7k, -10k, -20k, -40k, -100k, -200k, -500k, -1000k,
Traduction Translation Traducción Übersetzung Tradução Traduzione Traducere Vertaling Tłumaczenie Mετάφραση Oversættelse Översättning Käännös Aistriúchán Traduzzjoni Prevajanje Vertimas Tõlge Preklad Fordítás Tulkojumi Превод Překlad Prijevod 翻訳 번역 翻译 Перевод