L’hydrocarbure chloré est chauffé dans une première chambre (210) à une première température qui dissocie sensiblement l’hydrocarbure chloré.
Ce catalyseur permet une meilleure induction lorsqu'il est induit en présence d'oxyde d'éthylène, d'oxygène et d'un modérateur de chlorohydrocarbure.
L’hydrocarbure chloré sensiblement dissocié est utilisé pour former un film sur un substrat semi-conducteur (235) situé dans une seconde chambre (215).
La présente invention concerne un procédé de fabrication d’un dispositif semi-conducteur qui utilise un mélange gazeux (225) comprenant un hydrocarbure chloré de formule générale CxHxClx, dans laquelle x = 2, 3 ou 4.
L’hydrocarbure chloré est chauffé dans une première chambre (210) à une première température qui dissocie sensiblement l’hydrocarbure chloré.
Ce catalyseur permet une meilleure induction lorsqu'il est induit en présence d'oxyde d'éthylène, d'oxygène et d'un modérateur de chlorohydrocarbure.
L’hydrocarbure chloré sensiblement dissocié est utilisé pour former un film sur un substrat semi-conducteur (235) situé dans une seconde chambre (215).
La présente invention concerne un procédé de fabrication d’un dispositif semi-conducteur qui utilise un mélange gazeux (225) comprenant un hydrocarbure chloré de formule générale CxHxClx, dans laquelle x = 2, 3 ou 4.
Requêtes fréquentes anglais :1-200, -1k, -2k, -3k, -4k, -5k, -7k, -10k, -20k, -40k, -100k, -200k, -500k, -1000k,
Requêtes fréquentes français :1-200, -1k, -2k, -3k, -4k, -5k, -7k, -10k, -20k, -40k, -100k, -200k, -500k, -1000k,
Traduction Translation Traducción Übersetzung Tradução Traduzione Traducere Vertaling Tłumaczenie Mετάφραση Oversættelse Översättning Käännös Aistriúchán Traduzzjoni Prevajanje Vertimas Tõlge Preklad Fordítás Tulkojumi Превод Překlad Prijevod 翻訳 번역 翻译 Перевод