La chambre de réaction comporte un boîtier de chambre de réaction, et une matrice de réaction poreuse dans le boîtier de chambre de réaction.
Cet injecteur comporte un boîtier de chambre et une soupape placée dans ce boîtier de chambre.
Un logement de chambre principale est disposé à l'intérieur du logement et définit une chambre principale.
La cassette est couplée de manière détachable à l'enveloppe de chambre et est réalisée de manière à recevoir au moins deux substrats semi-conducteurs.
L'invention concerne un appareil comprenant un compartiment de traitement formé à l'intérieur d'un boîtier de compartiment, et une boucle de circulation de fluide formée de manière solidaire dans le boîtier de compartiment.
La chambre fermée (100) comprend un logement de chambre (101) et une ouverture (106) dans le logement de chambre (101) pour introduire des impuretés en suspension dans l'air (109).
L'enceinte de préchauffage comporte une boîtier d'enceinte et un système de chauffage.
Selon la présente invention, une source d'ions comprend un logement de chambre à arc définissant une chambre à arc.
La chambre est dotée d'un logement de chambre qui est couplé au logement adjacent à l'ouverture de sorte que la chambre reçoit le gaz et les débris sortant de l'ouverture.
Le piston est en contact avec la surface interne du corps de chambre de distribution, peut coulisser dans le corps de chambre de distribution et se trouve hermétiquement scellé sur la surface interne du corps de chambre de distribution.
Le boîtier de chambre (10) possède une première vanne de vide (11) et une seconde vanne de vide (12), par l'intermédiaire desquelles les substrats sont chargés dans le boîtier de chambre (10) ou déchargés hors du boîtier de chambre (10).
Ladite buse est connectée audit boîtier de chambre de pression.
Le corps de chambre comporte une première surface d'étanchéité.
Un logement de chambre comprend des paires d'entrée et sortie.
Par exemple, un système multi-chambres comprend une chambre contenant un module de mesure de torsion.
Requêtes fréquentes anglais :1-200, -1k, -2k, -3k, -4k, -5k, -7k, -10k, -20k, -40k, -100k, -200k, -500k, -1000k,
Requêtes fréquentes français :1-200, -1k, -2k, -3k, -4k, -5k, -7k, -10k, -20k, -40k, -100k, -200k, -500k, -1000k,
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