Après l'attaque chimique, le silicium poreux est séché par un procédé de séchage surcritique.
Après gravure, la nervure est hydrophobe et le substrat est hydrophile.
Ces produits de gravure (25) sont solubles dans l'eau ; par conséquent, directement après gravure, les surfaces gravées sont amenées en contact avec un fluide de lavage et les produits de gravure (25) sont éliminés par dissolution.
Après la gravure, le motif est transféré dans la couche de protection soluble dans un révélateur en utilisant un révélateur au lieu de la gravure requise par les procédés connus.
La présente invention vise à obtenir un motif qui possède une bonne forme de motif après gravure.
Un masque (34) appliqué sur un support (32) est stratifié puis décollé par gravure.
L'écrouissage est un artefact qui apparait après l'attaque (chimique, physique ou attaque optique également).
Avant décapage, on applique un film de protection présentant des motifs correspondant aux électrodes du réseau, qu'on enlève après décapage.
Presque tous les angles peuvent être usinés dans la plaquette restante après la gravure.
Le gabarit est retiré après attaque chimique du substrat et peut être utilisé à plusieurs reprises.
Ainsi, le motif après attaque chimique peut être formé avec une largeur de trait désirée par attaque chimique du substrat en utilisant le motif de réserve comme masque.
L'écrouissage est un artefact qui apparait après l'attaque (chimique, physique ou attaque optique également).
Quasiment n'importe quel angle de biseau peut être usiné dans la plaquette restante après la gravure.
Après la gravure, une seconde couche conductrice est déposée, suivie par un empilement de couches semi-conductrices.
Après exécution de la gravure, on peut effectuer le traitement thermique de cette structure afin de cristalliser la couche amorphe.
Requêtes fréquentes anglais :1-200, -1k, -2k, -3k, -4k, -5k, -7k, -10k, -20k, -40k, -100k, -200k, -500k, -1000k,
Requêtes fréquentes français :1-200, -1k, -2k, -3k, -4k, -5k, -7k, -10k, -20k, -40k, -100k, -200k, -500k, -1000k,
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